情报 美国政府向 Gelsinger 支持的 EUV 开发商 xLight 提供 1.5 亿美元联邦激励

公司将开发用于光刻工具的电子束新型光源，以构建基于自由电子激光的 EUV 光源原型。 美国本土初创公司 xLight 专注于基于粒子加速器的 EUV 光源开发，于周二与美国商务部签署意向书，拟根据《芯片与科学法案》获得  ...... 阅读全文