情报 中芯国际测试首款国产浸没式 DUV 光刻机：迈向设备自主的关键一步

据《金融时报》报道，中芯国际（SMIC） 正在测试由中国企业自主研发的首台浸没式深紫外（DUV）光刻设备。这一进展标志着中国在高端芯片制造装备国产化道路上迈出了实质性一步。 该设备由 上海宇量昇科技有限公司（Yusheng Semiconductor Technology）开发，代号“Mount Everest”（珠穆... 阅读全文